| Меню |
- Главная
- Юридпсихология
- Этика эстетика
- Электротехника
- Эктеория
- Физика
- Управление персоналом
- Уголовный процесс
- Уголовное право
- Схемотехника
- Стратегический менеджмент
- САПР
- Ресторанно-гостиничный бизнес бытовое обслуживан
- Реклама и PR
- Режущий инструмент
- Неопределено
- Метрология
- Матметоды в эк-ке
- Исторические личности
- Искусство и культура
- Информатика
- Иностранные языки
- Гражданское процессуальное право
- Гражданское право
- Государственное регулирование и налогообложение
- Сонник
- Карта сайта
| Поиск |
 Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легировании | |||||
|
6,05 1018 |
0,009 |
0,2 |
1,01 1019 |
0,006 |
|
|
2 |
7,18 1018 |
0,0075 |
0,4 |
1,18 1019 |
0,0058 |
|
3 |
7,88 1018 |
0,0073 |
0,6 |
1,46 1019 |
0,0042 |
|
4 |
8,32 1018 |
0,0071 |
0,8 |
2,11 1019 |
0,0034 |
|
5 |
8,6 1018 |
0,007 |
0,9 |
3,05 1019 |
0,0024 |
|
6 |
8,76 1018 |
0,0069 |
0,99 |
1,03 1020 |
0,00085 |
|
7 |
8,87 1018 |
0,0069 |
– |
– |
– |
|
9 |
9 1018 |
0,0068 |
– |
– |
– |
|
Vкр=8,33×10-3 см/с |
|||||
|
0 |
6,69 1018 |
0,0085 |
0 |
9,05 1018 |
0,0066 |
|
1 |
7,93 1018 |
0,0075 |
0,2 |
9,59 1018 |
0,0063 |
|
2 |
8,51 1018 |
0,0071 |
0,4 |
1,03 1019 |
0,006 |
|
3 |
8,8 1018 |
0,0069 |
0,6 |
1,15 1019 |
0,0057 |
|
4 |
8,93 1018 |
0,0068 |
0,8 |
1,38 1019 |
0,0052 |
|
5 |
9 1018 |
0,0068 |
0,9 |
1,65 1019 |
0,0045 |
|
7 |
9,03 1018 |
0,0066 |
0,99 |
3 1019 |
0,0024 |
|
8 |
9,04 1018 |
0,0066 |
– |
– |
– |
|
9 |
9,05 1018 |
0,0066 |
– |
– |
– |
|
Vкр=2,5×10-2 см/с |
|||||
|
0 |
8,96 1018 |
0,0068 |
0 |
9,05 1018 |
0,0066 |
|
1 |
9,01 1018 |
0,0068 |
0,2 |
9,07 1018 |
0,0066 |
|
2 |
9,03 1018 |
0,0066 |
0,4 |
9,1 1018 |
0,0065 |
|
3 |
9,05 1018 |
0,0066 |
0,6 |
9,13 1018 |
0,0065 |
|
4 |
– |
– |
0,8 |
9,2 1018 |
0,0064 |
|
5 |
– |
– |
0,9 |
9,26 1018 |
0,0064 |
|
9 |
9,05 1018 |
0,0066 |
0,99 |
9,48 1018 |
0,0063 |
1.2.3 Расчет распределения Si-Sb.
Расчет распределения сурьмы в кремнии будем производить аналогично расчету галлия в слитке кремния (пункт 1.2.1), при тех же условиях зонной плавки.
Переведем N0 в см-3. Атомная масса сурьмы = 121,7
N0=0,02 % (массовых) = 4,62×10-3 % (атомных) = 2,31×1018 см-3.
Для расчета эффективного коэффициента сегрегации kэфф воспользуемся выражением (4). Для сурьмы в кремнии k0=2,3×10-3 [1]. Отношение d/Dж=200 с/см из задания.
Подставляя значения k0, d/Dж, Vкр в (4), вычислим kэфф. Для трех скоростей кристаллизации Vкр=2,5×10-3; 8,33×10-3; 2,5×10-2 см/с соответственно получим kэфф=3,74×10-2; 0,11; 0,78.
Заполним расчетную таблицу.
Таблица 3 - Распределение сурьмы и удельного сопротивления вдоль слитка кремния после зонной плавки (один проход расплавленной зоной).
Участок зонной
плавки
Участок направленной
Кристаллизации
а
Nтв,
см-3
r , Ом×см
(по кривым Ирвина)
g
(a=10)
Nтв,
см-3
r , Ом×см
(по кривым Ирвина)
Vкр=2,5×10-3 см/с
0
8,64 1016
0,11
0
7,22 1017
0,028
1
1,68 1017
0,075
0,2
8,95 1017
0,023
2
2,47 1017
0,052
0,4
1,18 1018
0,0215
3
3,22 1017
0,047
0,6
1,74 1018
0,0192
4
3,95 1017
0,04
0,8
3,4 1018
0,014
5
4,66 1017
0,038
0,9
6,62 1018
0,0082
6
5,33 1017
0,033
0,99
6 1019
0,00135
7
6 1017
0,031
–
–
–
9
7,22 1017
0,028
–
–
–
Vкр=8,33×10-3 см/с
0
2,54 1017
0,051
0
1,55 1018
0,02
1
4,68 1017
0,038
0,2
1,89 1018
0,018
2
6,6 1017
0,03
0,4
2,44 1018
0,016
3
8,32 1017
0,027
0,6
3,5 1018
0,013
4
9,86 1017
0,024
0,8
6,49 1018
0,0085
5
1,12 1018
0,022
0,9
1,2 1019
0,0055
7
1,36 1018
0,0205
0,99
9,3 1019
0,00088
8
1,46 1018
0,02
–
–
–
9
1,55 1018
0,02
–
–
–
Vкр=2,5×10-2 см/с
0
Наверх